μDict

고밀도^플라스마^화학^증착

(高密度plasma化學蒸着)

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정의


반도체의 제조 과정에서, 고밀도의 플라스마를 사용하여 증착막을 개선 한 시브이디 기술.

이 문서는 2024년 7월 13일에 갱신되었습니다.